์๋ณด๋ EUV ๊ณต์ ์์ (์๋) แแ ฐแแ ฉแ แ ฆ แแ ฉแฏแแ ณ EUV ์๋ณด๋ EUV ๋์์ธ ์๋ณด๋ ๋ณผํธ ํ์ต์ ๊ธฐ์ค ์คํ ๋ฐ ๊ฐ๊ฒฉ